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含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹|埃登威自動化系統(tǒng)設備（上海）有限公司

含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹

在半導體工藝中，含氟電子特氣的應用廣泛，從芯片生長到器件封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開這些氣體。然而，含氟氣體具有一定的危險性，包括毒性、腐蝕性、燃燒性等，因此對其純度和穩(wěn)定性的要求極高。在超純氣應用中，氣體中殘余的濕氣對過程處理的正常運作至關重要，而對濕氣的持續(xù)追蹤測量卻是一個難點。不過，ADEV儀表推出的QZ360露點儀為這一難題提供了有效的解決方案。含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹

QZ360露點儀是一款專門用于測量超高純氣體中微量水分含量的儀器。它基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點傳感器生產和校驗的專業(yè)經驗，結合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。

QZ360露點儀的特點如下：含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹

  1. 測量下限低至-120°C（相當于不到1ppbV），能夠準確測量超純氣體中的微量水分。
  2. 測量穩(wěn)定，重復性好，能夠提供可靠的測量結果。
  3. 高度集成的采樣裝置和緊湊小巧的設計，使得儀器易于安裝和維護。
  4. 提供模擬和數(shù)字輸出，能夠方便地連接到控制系統(tǒng)或顯示模塊。含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹
  5. 可選的兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號，以及可自定義的產品設計，滿足各種特殊需求。

在使用含氟電子特氣的過程中，通過QZ360露點儀進行Ppb微量水檢測，能夠確保含氟氣體的純度和穩(wěn)定性，從而提高半導體產品的性能和可靠性。隨著半導體工藝的不斷發(fā)展和進步，對含氟電子特氣的需求將進一步增加，而QZ360露點儀在保障含氟氣體質量方面將發(fā)揮更加重要的作用。

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